陕西省志 第二十卷 有色金属工业志
第六篇铝、半导体硅材料、有色机械工业
第二章半导体硅材料
第一节多晶硅
表6-2-2 历年产品产量统计表
图6-2-1 西门子法制备超纯多晶硅工艺流程
表6-2-3 5种分析测试方法表
表6-2-1 历年获奖情况表